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真空镀膜系统的应用和制造方法

2020-04-22 14:12:45

   根据节能减排政策的建议,人们对低辐射镀膜玻璃提出了高的要求。

  
  通常用于生产镀膜玻璃的镀膜部分生产的产品已不能满足人们提出的更高要求。
  
  大面积磁控溅射镀膜生产线包含许多组件,而中心焦点区域是镀膜高真空区域的工艺部署,即镀膜部分。
  
  真空条件差和冷却效果差的现有技术将严重影响所制备薄膜的质量。
  
  提供真空镀膜系统。该系统与真空镀膜系统和真白手套箱系统集成在一起。它可以在高真空蒸发室中完成薄膜蒸发,并在高纯度惰性气体气氛下将样品存储在手套箱中。蒸发后样品的制备和检测。
  
  蒸发涂层和真白手套箱的结合实现了蒸发,包装,测试和其他全封闭结构的构造,从而使整个胶片显影和设备制备过程高度集成在一个可控气氛的完整系统中,消除了有机大面积电路的制备过程。
  
  在中空情况下不变因素的影响保证了高性能,大面积有机光电子器件和电路的制备。
  
  真空镀膜系统主要用于太阳能电池钙钛矿,OLED和PLED,半导体制备以及其他尝试的研究和应用。
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